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三重富士通セミコンダクター株式会社

製造設備エンジニア

正社員 紹介:イーキャリアFAに掲載

■業務概要
半導体製造装置の安定稼働を支えながら、品質・生産性(OEE)・コストを最適化
各工程ごとに、歩留まり影響を最小化することで工場全体の競争力向上に貢献

■業務詳細
半導体装置を通じた製品品質と生産性の向上
生産コスト抑制のための装置改良とメンテナンス手法の改善
安全且つ安定した設備稼動のための点検、故障の復旧
生産能力拡大や新商品のための新規設備導入(装置選定、仕様決め~立上げ)
故障予知のためのデータ解析

【工程ごとの役割】
◆酸化
酸化炉などの熱プロセスは、膜質・膜厚のばらつきが品質に直結し、設備面では、温度均一性・再現性・装置コンディションの維持が中核です。重点:温度系・ガス系・炉内コンディションの安定化、異常兆候の早期検知
◆洗浄/イオン注入
洗浄はパーティクル・残渣低減が鍵、イオン注入はビーム安定性や装置状態が特性に影響し、異物・汚染・装置ドリフトを抑える保全設計が重要です。重点:薬液・純水・排気の健全性、注入装置の安定稼働(アラーム傾向管理、稼働率改善)
◆TF:平坦化(CMP等)
CMPは消耗品・装置状態・条件ブレが品質へ影響しやすい工程の為、消耗部材・ユニット状態・再現性を、データで管理することが重要です。重点:PMの適正化(やり過ぎ/不足の最適点)、故障の予兆検知、ばらつき要因の潰し込み
◆LT:リソグラフィ
露光装置は高精度・高可用性が求められ、わずかな状態変化が歩留まりに響き、稼働率最大化(待ち時間・停止の最小化)と品質リスク抑制を両立します。重点:装置の安定稼働、停止予兆の検知、変更管理(MOC)と影響最小化
◆ET:エッチング
エッチングは装置コンディションが結果に直結し、チャンバー状態や部材劣化が安定性を左右し、装置コンディション管理と再発防止の型化が重要です。重点:チャンバー状態の維持、ダウンタイム削減、原因究明→恒久対策→標準化

勤務地 三重県桑名市多度町御衣野2000
給与 年収:500万円~1000万円経験・スキルに応じて変動します

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